日立、走査型電子顕微鏡の画質を1.4倍に向上する処理技術を開発
引用元: ニュースリリース：2009年12月7日：日立.
走査型電子顕微鏡画像のSN比と画像の鮮鋭度を1.4倍に向上する画像処理技術を開発
SN比が低いSEM画像に対しても、SN比が高い場合と同等の高画質化を実現
株式会社日立製作所は、１２月７日、100万分の1ミリメートルレベルの分解能で試料を観察するために用いられる走査型電子顕微鏡(Scanning Electron Microscope／SEM)の画像のノイズを低減し、電子ビームの広がりによって劣化した鮮鋭度を復元してシャープな画像にする画像処理技術を開発したと発表した。画像処理しない場合と比べて、SN比 と鮮鋭度をともに約1.4倍に向上させることに成功したという。従来は高画質化が難しかったSN比の低いSEM画像も、鮮明な画像にすることができる。
SEM画像の場合は光学顕微鏡などの画像に比べて ノイズが多くSN比が低いため、一般的な画像処理による復元技術ではノイズがさらに増幅し、むしろ画質が悪化してしまう。今回、日立は、SEM画像の各位置における明るさの変化方向と周波数成分を同時に考慮することで、信号とノイズを高精度に識別し、ノイズを低減する技術を開発した。また、電子光学系シミュレータを用いて撮影時の電子ビームの広 がりを高精度に算出し、ビーム径で劣化した鮮鋭度を復元するように画像処理を繰り返す画質改善技術を開発した。
この技術は12月3日から4日まで神奈川県横浜市のパシフィコ横浜で開催された「ViEW(Vision Engineering Workshop)2009」において発表された。
出版社：共立出版( 2000-06 ) 定価：￥ 13,125 単行本 ( 447 ページ ) ISBN-10 : 4320071484 ISBN-13 : 9784320071483
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